Cấu tạo lò vi sóng bao gồm các bộ phận chính sau:
Vỏ máy: Thường được làm bằng thép không gỉ, an toàn, sáng bóng, mang tính thẩm mỹ cao và còn bảo vệ tốt cho các linh kiện bên trong.
Buồng nấu: Được cấu tạo gồm các vách ngăn, có tác dụng phản xạ qua lại các tia sóng trước khi chung bị hấp thụ vào thức ăn.
Cửa lò: Được thiết kế bằng kính nên có thể quan sát được thực phẩm bên trong khoang lò.
Đèn chiếu sáng: Giúp quan sát thức ăn bên trong lò.
Đĩa quay: Được làm bằng thủy tinh chịu nhiệt, được sử dụng để đặt thực phẩm lên trên đĩa, sau đó bộ phận này sẽ xoay tròn để giúp đồ ăn hấp thụ sóng đều và nhanh nóng.
Mạch vi điều khiển: Nằm ở phía dưới bảng điều khiển, có tên tiếng Anh là Microcontroller.
Bảng điều khiển: Gồm các núm xoay vật lý (đối với lò vi sóng cơ) hoặc nút cảm ứng và màn hình điện tử (với lò vi sóng điện tử) giúp người dùng điều chỉnh sự hoạt động và các tính năng nấu nướng của lò.
Khoang lò: Được bao quanh bởi lưới kim loại chắc chắn, là nơi sóng vi ba hoạt động làm chín thức ăn.
Máy phát sóng cao tần – nguồn phát sóng: Đây là một bộ phận quan trọng nhất của một chiếc lò vi sóng vì là nguồn phát ra tia sóng để làm nóng hoặc chín thức ăn.
Ống dẫn sóng: Truyền dẫn sóng từ nguồn phát đến khoang lò nơi đặt thực phẩm.
Cánh tản sóng: Tản đều sóng trong khoang lò để thức ăn được làm nóng đều.
Quạt làm mát: Tác dụng tản nhiệt và làm mát các linh kiện bên trong lò vi sóng.
Cảm biến nhiệt: Nhận biết nhiệt độ cao và tự động ngắt lò để đảm bảo an toàn, tránh cháy nổ.